(DOC) MEMS (Micro Electro Mechanical Systems
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) adalah reraga/struktur peralatan elektro- mekanik terdiri dari sensor mikro, aktuator mikro dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS …
Đọc thêm![](/images/whatsapp.png)